呼和浩特市托克托县高纯电子气体项目(一期)开工建设

4月16日,呼和浩特市托克托县高纯电子气体项目(一期)在托克托经济开发区开工建设。

高纯电子气体项目(一期)共计新征用地435亩,本期占地264亩,总投资13.6亿元。主要建设三氟化氮电解车间、纯化装置、充装车间等生产车间以及配套的变电站、动力车间、指挥控制中心等建筑物,共建设31个建构筑物单体,总建筑面积4.6万平方米。

项目将在2024年底基本完工,2025年上半年竣工投产,建成后,可实现高纯度三氟化氮7500吨/年、超纯氨10000吨/年,以及75000吨的液氮的配套生产能力。达产后,预计实现产值超10亿元。

该项目的建设将持续推进我国集成电路产业电子气体的产业化,服务于我国半导体产业。